Sensirion Controller/misuratori di flusso di massa SFC5500/SFM5500
I controller/misuratori di flusso di massa SFC5500/SFM5500 di Sensirion sono dispositivi digitali basati su CMOSens®multi-gas che misurano il flusso di massa del gas secondo il principio calorimetrico basato sul trasferimento di calore. I controller/misuratori raggiungono valori nominali ineguagliabili per velocità, precisione e ripetibilità a un costo di sistema molto interessante. Un elemento riscaldante su una membrana termicamente isolata e due termopile a monte e a valle sono integrati su un singolo chip in silicio. In presenza di flusso di gas, la distribuzione della temperatura verso l'alto e verso il basso è perturbata. Questa asimmetria viene poi misurata. Un design a canale più ampio rende il dispositivo più robusto contro particelle, ostruzioni e gas umidificati. Grazie al design compatto a chip singolo e al montaggio tra parti metalliche, i sensori basati su CMOSens®sono anche molto resistenti ai disturbi elettromagnetici (EMC).
Un valore di misurazione del flusso completamente compensato può essere fornito ogni millisecondo con amplificazione, conversione A/D, linearizzazione digitale e compensazione della temperatura corrispondente alla velocità del sensore. I controller di flusso di massa SFC5500 mostrano prestazioni a deriva zero e controllano il flusso di massa vero indipendentemente dalla temperatura ambiente e dalle variazioni di pressione. Una disposizione speciale dei due sensori di temperatura, la compensazione della temperatura su chip e la minimizzazione delle sorgenti di rumore portano a prestazioni imbattibili in termini di ripetibilità e precisione in un ampio intervallo dinamico.
Caratteristiche
- Eccellente accuratezza e ripetibilità (0,8%/0,1% di setpoint, rispettivamente)
- Intervallo di controllo molto ampio (superiore a 1000:1)
- Flangia G ¼″ compatibile con una vasta gamma di connettori (ad es. Swagelok, Legris, Festo)
- Calibrato per gas multipli (aria, N2, O2, H2, He, CH4, N2O, Ar, CO2)
- Tempo di ripristino ultrarapido (<100 ms)
- Interfaccia digitale con uscita compensata in temperatura
- Calibrazione tracciabile NIST
- Tempo medio tra i guasti (MTBF) 169 anni
- Nessuna deriva e nessuna ricalibrazione necessaria sul campo
Specifiche
- Tempo di impostazione tipico <100 ms
- Frequenza di misurazione 1.000 Hz
- Intervallo di controllo migliore di 1000:1
- Tempo di riscaldamento: 1s
- Intervallo di temperatura di funzionamento ambiente: da 0 a +50 °C (da +32 °F a +122 °F)
- Pressione di ingresso massima: 10 bar/145 psig
- Pressione differenziale massima: 5 bar/73 psig
Video
Schema a blocchi
Risorse aggiuntive
- Gascromatografia: monitoraggio e controllo in tempo reale per fornire soluzioni ottimali
- Guida utente di avvio rapido
- Nota applicativa: riferimento interfaccia di comunicazione SHDLC per controller di flusso di massa SFC5500
- Nota applicativa: raccordi intercambiabili per i regolatori di flusso di massaSFC5500
- Deposizione a film sottile
- Cromatografia del gas
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