STMicroelectronics Sensore di pressione MEMS LPS25H

Il sensore di pressione MEMS LPS25H STMicroelectronics è un sensore di pressione piezoresistivo ultracompatto. Questo dispositivo comprende un elemento monolitico sensibile e un'interfaccia IC in grado di acquisire le informazioni dal sensore e fornire un segnale digitale all'esterno. L'elemento sensibile è costituito da una membrana sospesa realizzata all'interno di un unico substrato di monosilicio. È in grado di rilevare la pressione assoluta ed è fabbricato con un processo dedicato sviluppato da ST. La membrana è molto piccola rispetto alle membrane di silicio microlavorate costruite tradizionalmente. Inoltre, la rottura della membrana è impedita da un fermo meccanico intrinseco. L'interfaccia IC viene prodotta utilizzando un processo CMOS standard che permette un elevato livello di integrazione per progettare un circuito dedicato tagliato per adattarsi meglio alle caratteristiche dell'elemento sensibile.