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Controller/misuratori di flusso di massa SFC5500/SFM5500
I controller/misuratori di flusso di massa SFC5500/SFM5500 di Sensirion sono dispositivi digitali basati su CMOSens®multi-gas che misurano il flusso di massa del gas secondo il principio calorimetrico basato sul trasferimento di calore. I controller/misuratori raggiungono valori nominali ineguagliabili per velocità, precisione e ripetibilità a un costo di sistema molto interessante. Un elemento riscaldante su una membrana termicamente isolata e due termopile a monte e a valle sono integrati su un singolo chip in silicio. In presenza di flusso di gas, la distribuzione della temperatura verso l'alto e verso il basso è perturbata. Questa asimmetria viene poi misurata. Un design a canale più ampio rende il dispositivo più robusto contro particelle, ostruzioni e gas umidificati. Grazie al design compatto a chip singolo e al montaggio tra parti metalliche, i sensori basati su CMOSens®sono anche molto resistenti ai disturbi elettromagnetici (EMC).